品管设备

♦ High quality control – Auto measurement tools with COA:

• 功能: 芯片厚度/TTV/ WARPAGE/ BOW量测

♦ 单晶芯片定向仪
(Crystal Orientation Measurement Instrument)

• 功能: 双工作台仪器，可以对芯片端面及参考边进行量测。经度为±30"，最小读数为1"
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