晶向檢測:Notch Orientation/Crystal Surface Orientation

1. 檢測設備: 單晶晶片定向儀，為雙工作臺儀器，可以對晶片端面及參考邊進行量測，透過機台檢測晶圓片之Notch晶向(Notch orientation): <100>、<110>及面晶向(Crystal Surface Orientation): (100)、(110)。經度為±30"，最小讀數為1"。

2. 適用品項: 8"矽晶圓/12"矽晶圓

檢測項目:Thickness/Warpage/Bow/TTV

1. 檢測設備:德國進口晶圓檢測機，利用米字型線型量測晶圓片數值，並製作出 COA Report，有助於客戶判斷晶片數據，降低成本，提高良率。

2. 適用品項: 8"矽晶圓/12"矽晶圓